MOEMS electrostatic scanning micromirrors design and fabrication


Patterson P., HAH D. , Toshiyoshi H., Wu M. C.

201st Meeting of the Electrochemical Society – 1st International Symposium on Integrated Optoelectronics, Philadelphia, Amerika Birleşik Devletleri, 12 - 17 Mayıs 2002, ss.369-380

  • Basıldığı Şehir: Philadelphia
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayısı: ss.369-380