An angular vertical comb drive actuator for scanning micromirrors

Patterson P., HAH D. , Chang H., Toshiyoshi H., Wu M. C.

International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Okinawa, Japonya, 25 - 28 Eylül 2001, ss.25-26

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Okinawa
  • Basıldığı Ülke: Japonya
  • Sayfa Sayıları: ss.25-26