A scanning micromirror with angular comb drive actuation

Patterson P., HAH D. , Nguyen H., Toshiyoshi H., Chao R., Wu M. C.

15th IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference, Las Vegas, Amerika Birleşik Devletleri, 20 - 24 Ocak 2002, ss.544-547

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Las Vegas
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.544-547