Low voltage MEMS micromirror arrays with hidden vertical comb-drive actuators


HAH D. , Huang S., Nguyen H., Chang H., Tsai J., Toshiyoshi H., ...Daha Fazla

Hilton Head 2002 Solid-State Sensor & Actuator Workshop, Hilton Head Island, Amerika Birleşik Devletleri, 3 - 06 Haziran 2002, ss.11-14

  • Basıldığı Şehir: Hilton Head Island
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.11-14