A novel tunable MEMS capacitor based on angled vertical comb drive actuators


Nguyen H., HAH D. , Patterson P., Chao R., Piyawattanametha W., Wu M. C.

Hilton Head 2002 Solid-State Sensor & Actuator Workshop, Hilton Head Island, Amerika Birleşik Devletleri, 3 - 06 Haziran 2002, ss.277-280

  • Basıldığı Şehir: Hilton Head Island
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.277-280