A design method of comb-drive actuators for linear tuning characteristics in mechanically tunable optical filters

Hah D.

Microsystem Technologies, cilt.23, ss.3835-3842, 2017 (SCI İndekslerine Giren Dergi) identifier identifier

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 23
  • Basım Tarihi: 2017
  • Doi Numarası: 10.1007/s00542-015-2736-8
  • Dergi Adı: Microsystem Technologies
  • Sayfa Sayıları: ss.3835-3842