Recent advances in optical MEMS devices and systems


Patterson P., HAH D. , Lee M., Tsai J., Wu M. C.

International Symposium on Optical Science and Technology, SPIE's 47th Annual Meeting, Seattle, Amerika Birleşik Devletleri, 7 - 11 July 2002, ss.1-8

  • Basıldığı Şehir: Seattle
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayısı: ss.1-8