Solid-immersion micromirror with enhanced angular deflection for silicon based planar lightwave circuits


Chi C., Tsai J., HAH D. , Jeong K., Wu M. C.

International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Oulu, Finlandiya, 1 - 04 Ağustos 2005, ss.131-132

  • Basıldığı Şehir: Oulu
  • Basıldığı Ülke: Finlandiya
  • Sayfa Sayısı: ss.131-132