Integration of a honeycomb micromirror with a surface micromachined 2D scanner for improved performance

Patterson P., Su G., HAH D. , Wu M. C.

AVS 48th International Symposium, San Francisco, Amerika Birleşik Devletleri, 29 October - 02 November 2001, ss.1

  • Basıldığı Şehir: San Francisco
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayısı: ss.1