Integration of a honeycomb micromirror with a surface micromachined 2D scanner for improved performance


Patterson P., Su G., HAH D. , Wu M. C.

AVS 48th International Symposium, San Francisco, Amerika Birleşik Devletleri, 29 Ekim - 02 Kasım 2001, ss.1

  • Basıldığı Şehir: San Francisco
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.1