Performance improvement of a two-axis radial-vertical-combdrive scanner by using a symmetric spring design

Hsieh T., Chang Y., Chiou S., Tsai J., HAH D. , Wu M. C.

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Freiburg, Almanya, 11 - 14 Ağustos 2008, ss.108-109

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Freiburg
  • Basıldığı Ülke: Almanya
  • Sayfa Sayıları: ss.108-109