A high fill-factor, large scan-angle, two-axis analog micromirror array driven by leverage mechanism

Tsai J., Fan L., HAH D. , Wu M. C.

International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Takamatsu, Japonya, 22 - 26 Ağustos 2004, ss.30-31

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Takamatsu
  • Basıldığı Ülke: Japonya
  • Sayfa Sayıları: ss.30-31