two-axis MEMS scanner driven by radial vertical combdrive actuators

Chiou S., Hsieh T., Tsai J., Sun C., HAH D. , Wu M. C.

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Hualien, Tayvan, 12 - 16 Ağustos 2007, ss.83-84

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Hualien
  • Basıldığı Ülke: Tayvan
  • Sayfa Sayıları: ss.83-84