Optomechanical pressure sensors using multi-mode interference couplers on thin p+-Si membranes

HAH D. , Yoon E., Hong S.

The 6th Korean Conference on Semiconductor, Seoul, Güney Kore, 01 February 1999, ss.175-176

  • Basıldığı Şehir: Seoul
  • Basıldığı Ülke: Güney Kore
  • Sayfa Sayısı: ss.175-176