Analytical design of MEMS variable capacitors based on shaped-finger comb-drives
Atıf İçin Kopyala
Hah D.
Microsystem Technologies, 2019 (SCI-Expanded)
-
Yayın Türü:
Makale / Tam Makale
-
Basım Tarihi:
2019
-
Doi Numarası:
10.1007/s00542-019-04362-x
-
Dergi Adı:
Microsystem Technologies
-
Derginin Tarandığı İndeksler:
Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
-
Abdullah Gül Üniversitesi Adresli:
Evet