Analytical design of MEMS variable capacitors based on shaped-finger comb-drives
Microsystem Technologies, 2019 (SCI-Expanded)
- Yayın Türü: Makale / Tam Makale
- Basım Tarihi: 2019
- Doi Numarası: 10.1007/s00542-019-04362-x
- Dergi Adı: Microsystem Technologies
- Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
- Abdullah Gül Üniversitesi Adresli: Evet