Analytical design of MEMS variable capacitors based on shaped-finger comb-drives

Hah D.

Microsystem Technologies, 2019 (SCI-Expanded) identifier

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Basım Tarihi: 2019
  • Doi Numarası: 10.1007/s00542-019-04362-x
  • Dergi Adı: Microsystem Technologies
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
  • Abdullah Gül Üniversitesi Adresli: Evet