Analytical design of linear variable capacitors with shaped-finger comb-drive actuators


HAH D.

20th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2018, Roma, İtalya, 22 - 25 Mayıs 2018, ss.1-5 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/dtip.2018.8394217
  • Basıldığı Şehir: Roma
  • Basıldığı Ülke: İtalya
  • Sayfa Sayıları: ss.1-5