Analytical design of linear variable capacitors with shaped-finger comb-drive actuators
20th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2018, Roma, İtalya, 22 - 25 Mayıs 2018, ss.1-5
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Doi Numarası: 10.1109/dtip.2018.8394217
- Basıldığı Şehir: Roma
- Basıldığı Ülke: İtalya
- Sayfa Sayıları: ss.1-5
- Abdullah Gül Üniversitesi Adresli: Evet