A surface and bulk micromachined angular vertical combdrive for scanning micromirrors

Piyawattanametha W., Patterson P., HAH D. , Toshiyoshi H., Wu M. C.

OFC 2003, Atlanta, Amerika Birleşik Devletleri, 23 - 28 Mart 2003, ss.251-252

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Atlanta
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.251-252