Design of electrostatic actuators for MOEMS applications


HAH D. , Toshiyoshi H., Wu M. C.

Symposium on Design, Test, Integration and Packaging for MEMS/MOEMS, Cannes, Fransa, 6 - 08 Mayıs 2002, ss.200-207

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Cannes
  • Basıldığı Ülke: Fransa
  • Sayfa Sayıları: ss.200-207