A low voltage, large scan angle MEMS micromirror array with hidden vertical comb-drive actuators for WDM routers


HAH D. , Huang S., Nguyen H., Chang H., Toshiyoshi H., Wu M. C.

OFC 2002, Anaheim, Amerika Birleşik Devletleri, 17 - 22 March 2002, ss.92-93

  • Basıldığı Şehir: Anaheim
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayısı: ss.92-93