A Low Voltage, Large Scan Angle MEMS Micromirror Array with Hidden Vertical Comb-Drive Actuators for WDM Routers

HAH D., Huang S., Nguyen H., Chang H., Wu M. C., Toshiyoshi H.

Optical Fiber Communication Conference, OFC 2002, California, Amerika Birleşik Devletleri, 17 Mart 2002, ss.92-93

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: California
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.92-93
  • Abdullah Gül Üniversitesi Adresli: Evet