MEMS tunable capacitor based on angular vertical comb drives

HAH D.

Patent, BÖLÜM H Elektrik, Standart Tescil, 2006

• Fikri Mülkiyet: Patent
• Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
• Başvuru Tarihi: 1.08.2006